QUANTAX FlatQUAD是基于革 命性的XFlash FlatQUAD探測器 的EDS微區(qū)分析系統(tǒng)。這一獨(dú) 特設(shè)計(jì)的環(huán)形四通道SDD探測 器工作時(shí)位于掃描電鏡極靴和 樣品之間，能夠獲得EDS分析 較大的固體角。結(jié)合ESPRIT分 析軟件, QUANTAX FlatQUAD 系統(tǒng)對于傳統(tǒng)斜插式能譜很難 分析的樣品，可提供優(yōu) 素面分布效果。 XFlash FlatQUAD探測器的探頭組件中，四個(gè)獨(dú)立的硅漂 移芯片成環(huán)形排列于中心孔四周，入射電子束從該中心 孔穿過。探測器材料經(jīng)過特殊選擇, 避免對電子束產(chǎn)生 影響, 保證高質(zhì)量的電鏡圖像。 使用全新的探測器技術(shù)，

 QUANTAX FlatQUAD系統(tǒng)的核心—XFlash FlatQUAD探測 器，

基于新穎的探測器設(shè)計(jì)理念，安裝于掃描電鏡 樣品 倉的水平接口 ， 使探測器置于電鏡極靴和樣品之間。而 傳統(tǒng)的探測器則采用電鏡的傾斜接口。XFlash FlatQUAD 探測器能夠與不同類型的掃描電鏡兼容。 探測器配置了不同厚度的特殊聚合物窗口，可吸收不同 加速電壓下的背散射電子。

掃描電鏡能譜分析優(yōu)化的固體角：

XFlash FlatQUAD探測器芯片的位置和 尺寸（4×15mm 有效面積）提供了掃描 電鏡中X射線采集的較大固體角。能夠 獲得大于1sr的固體角和至少60°的檢 出角。

超高計(jì)數(shù)率和能量分辨率兼得 

超高的采集效率帶來超高的計(jì)數(shù)率， 每塊芯片都配備了獨(dú)立的信號處 理通道。輸入計(jì)數(shù)率（ICR）和輸出計(jì)數(shù) 率（OCR）可分別高達(dá)4,000kcps和1,600 kcp s 。布魯克專業(yè)的SDD技術(shù)使得 XFlash FlatQUAD在計(jì)數(shù)率100kcps內(nèi)保 證能量分辨率達(dá)到Mn-Kα126eV,C-K 51eV，F(xiàn)-K60eV）。

 原理：

XFlash FlatQUAD是一款平插式探測 器，置于掃描電鏡極靴和樣品之間。 四塊硅漂移晶體成環(huán)形排列于中心 孔四周，入射電子束從中心孔穿過。 適用于不同的工作距離并具有優(yōu)異 的性能。